特許
J-GLOBAL ID：200903045588047155
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042927
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236609
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】試料の正確な三次元画像を短時間で取得できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】包埋材2は凍結され、その中に試料1を含んでいる。この包埋材2は試料台4に挿入固定される。試料台4の内部の空間内には液体窒素3が封入される。回転アーム43は、その一端に包埋材2と試料1を薄く削り取るためのカッター8を支持し、モーター10により所定の角度範囲で揺動される。探針を自由端に備えるカンチレバー11は、ホルダー12を介して、その自由端の変位を測定する変位センサーユニット13に取り付けられる。変位センサーユニット13を支持するスキャナー14は、粗動ステージ17に支持されたフランジ15に固定されている。コンピューター29は、装置全体の制御、信号および画像の処理を行ない、その結果をモニター30に表示する。
請求項（抜粋）：
探針と、探針を自由端に支持するカンチレバーと、カンチレバーの自由端の変位を測定する手段と、試料表面に沿って探針を走査する手段と、測定手段と走査手段から得られる位置情報と高さ情報とに基づいて試料表面の画像を形成する手段と、試料を薄く削り取る手段とを有しており、試料を削り取る毎に、新しく現れた試料表面の画像を得る走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G01N 1/06
, G01N 1/36
G01N 37/00 A
, G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
, G01N 1/06 J
, G01N 1/28 R
