特許
J-GLOBAL ID：200903045593860093
真空フランジ及び真空容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258385
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090208
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 接着法で製造されたアルミハニカム板を使用することができ、のぞき窓等を形成することができる真空フランジ及び真空容器を提供する。【解決手段】 一対のアルミ板43、44でハニカムコア45を挟み込むと共にこれらを接着剤で接合して形成されたアルミハニカム板41と、アルミハニカム板41に形成された開口部46と、開口部46の周囲のリング部材47と、開口部46に装着された窓装置42と、を備える。窓装置42は、開口部46に挿通された筒状本体部48と、筒状本体部48の真空側の端部に形成された鍔状部49と、鍔状部49とアルミハニカム板41とによって挟み込まれたOリング50と、筒状本体部48の内側に気密に設けられた窓部材53と、筒状本体部48の大気側の端部の外周面に形成された雄ネジ部55と、雄ネジ部55に螺着され、鍔状部49と協働してリング部材47を両面から締め付けるナット部材57と、を備える。
請求項（抜粋）：
一対のアルミ板によってハニカムコアを挟み込み、前記各アルミ板と前記ハニカムコアとを接着剤によって接合して形成されたアルミハニカム板と、前記アルミハニカム板に形成された開口部と、前記開口部の周囲に取り付けられたリング部材と、前記開口部に装着された窓装置と、を備え、前記窓装置は、前記開口部に挿通された筒状本体部と、前記筒状本体部の真空側の端部に形成された鍔状部と、前記鍔状部と前記アルミハニカム板とによって挟み込まれたOリングと、前記筒状本体部の内側に気密に設けられた窓部材と、前記筒状本体部の大気側の端部の外周面に形成された雄ネジ部と、前記雄ネジ部に螺着され、前記鍔状部と協働して前記リング部材を両面から締め付けるナット部材と、を備えていることを特徴とする真空フランジ。
IPC (5件)：
B01J 3/03
, C23C 14/56
, C23F 4/00
, H01L 21/31
, C23C 14/34
B01J 3/03 J
, C23C 14/56 Z
, C23F 4/00 A
, H01L 21/31 D
, C23C 14/34 T
