特許
J-GLOBAL ID：200903045595040689
静電容量型圧力センサ及びそれを用いた血圧計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-056825
公開番号（公開出願番号）：特開平8-226858
出願日： 1995年02月22日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【目的】 シリコン基板とガラス基板との陽極接合時に、ダイアフラムがガラス基板に固着するのを可及的になくした静電容量型の圧力センサを提供すること【構成】 シリコン基板10の上に平板状のガラス基板11を陽極接合により一体化している。シリコン基板の所定位置にはダイアフラム15が形成され、それと対向するガラス基板上には固定電極18が形成される。固定電極の周囲のガラス基板表面11aには、ポリイミドからなる保護膜19が形成される。これにより、陽極接合時にダイアフラムがガラス基板側に撓んだとしても、両者間には保護膜が存在するため、直接接触しない。よって不必要にダイアフラムとガラス基板とが陽極接合されてしまうことがなくなる。
請求項（抜粋）：
圧力によって撓み量が変化するダイアフラムを設けたシリコン基板と、固定電極を設けたガラス基板とを陽極接合させて、前記ダイアフラムと前記固定電極とが対向した状態で一体化するとともに、そのダイアフラムと、ガラス基板表面との間で圧力室を形成し、前記ダイアフラムに形成された可動電極と前記固定電極間の静電容量に基づいて圧力を検出する静電容量型圧力センサにおいて、前記圧力室内の前記固定電極が未形成の前記ガラス基板の表面部分または、その表面部分に対向するダイアフラムの所定領域の少なくとも一方に、陽極接合されにくい材質からなる保護膜を形成したことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 1/14
, A61B 5/022
, H01L 29/84
G01L 1/14 A
, H01L 29/84 Z
, A61B 5/02 337 Z
