樹脂の塗布方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160691
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343031
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】長尺基板上に形成されたパターンの上に、上部樹脂層のむらをなくし、均一に塗布する連続塗布方法を提供する。【解決手段】基板上に整列されたパターンを、基板の長手方向に対して平行な成分と長手方向に対して垂直な成分とに区分したとき、平行成分が垂直成分より長くなるようパターン配置し、パターンの平行成分に対して平行に樹脂層を連続塗布することを特徴とする樹脂の塗布方法。

請求項（抜粋）：

基板上に整列されたパターンを基板の長手方向に対して平行な成分と長手方向に対して垂直な成分とに区分したとき、平行成分が垂直成分より長くなるようパターンを配置し、パターンの平行成分に対して平行に樹脂層を連続塗布することを特徴とする樹脂の塗布方法。

IPC (5件)：

B05D 7/00 , B05D 7/24 302 , G03F 7/037 501 , G03F 7/16 , H01L 21/027

FI (5件)：

B05D 7/00 A , B05D 7/24 302 X , G03F 7/037 501 , G03F 7/16 , H01L 21/30 564

Fターム (22件)：

2H025AA10 , 2H025AA18 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC69 , 2H025CB25 , 2H025DA19 , 2H025DA20 , 2H025EA04 , 4D075AC72 , 4D075BB66Z , 4D075DA04 , 4D075DB04 , 4D075DB06 , 4D075DB53 , 4D075DC21 , 4D075EB39 , 4D075EC37 , 5F046JA01

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