特許
J-GLOBAL ID:200903045598886449

銅を含む塩化第二鉄エツチング液の処理方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 武久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-293127
公開番号(公開出願番号):特開平5-125564
出願日: 1991年11月08日
公開日(公表日): 1993年05月21日
要約:
【要約】【目的】 電解処理を1段で行いながら、クローズド化した場合に生じるとされている種々の不具合を回避して、簡単な操作で、しかも低い運転コストで、銅を含む塩化第二鉄エッチング廃液を処理するとともに、発生する塩素ガスを系外に放出することなく、安全に有効利用する。【構成】 銅を含む塩化第二鉄エッチング液を隔膜電解法で処理し、3価の鉄イオン濃度を30g/l 以下、銅イオンを20g/l 以下に調整した陰極室で銅を電析回収するとともに、陽極室で発生する塩素ガスをエッチング工程で使用している別の銅を含む塩化第二鉄エッチング液に導き、当該液を再生する。
請求項(抜粋):
銅を含む塩化第二鉄エッチング液を隔膜電解法で処理し、3価の鉄イオン濃度を30g/l 以下、銅イオンを20g/l 以下に調整した陰極室で銅を回収するとともに、陽極室で発生する塩素ガスをエッチング工程で使用している別の銅を含む塩化第二鉄エッチング液に導き、当該液を再生することを特徴とするエッチング液の処理方法。
IPC (6件):
C23F 1/46 ,  C25B 1/26 ,  C25C 1/00 ,  C25C 1/12 ,  C25F 3/12 ,  C25F 7/02

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