特許
J-GLOBAL ID：200903045605824519
基板検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-268390
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111253
出願日： 1996年10月09日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】本発明は、正確な欠陥部観察を行うことができるとともに、観察作業の軽減化を実現できる基板検査装置を提供する。【解決手段】マクロ照明用ユニット11による面光源をホルダ3上の被検査基板4表面に均一に照明し、被検査基板4表面での反射光の変化を観察者の目視観察により欠陥部として検出し、被検査基板4上の欠陥部をスポット照明8の照射範囲に位置させた状態から、さらに被検査基板4上の欠陥部をミクロ観察ユニット9の対物レンズ91の観察範囲に移動させ、接眼レンズ92によるミクロ観察を行う。
請求項（抜粋）：
傾斜面の一方向に沿って移動可能に設けられ、被検査基板を保持する被検査基板保持手段と、この被検査基板保持手段の移動方向と交差する方向に移動可能に設けられた対物レンズを含むミクロ観察系と、前記被検査基板表面に照明光を照射しその反射光の変化から被検査基板上の欠陥部を検出するマクロ観察系とを具備し、前記マクロ観察系により検出された被検査基板上の欠陥部を前記ミクロ観察系の対物レンズの観察範囲に移動することでミクロ観察を可能にしたことを特徴とする基板検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/88
, G02F 1/13 101
G01N 21/88 D
, G02F 1/13 101
