特許
J-GLOBAL ID：200903045614807406
干渉計装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
緒方 保人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-041605
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221010
出願日： 1997年02月10日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 被検体からの反射光量の調整を容易かつ低コストで実現することができ、しかもコントラストが最大となる良好な干渉縞が得られるようにする。【解決手段】 光源光であるレーザ光を直線偏光に変換する偏光板11、ハーフミラー14、基準板15、被検体16、TVカメラ25等を設け、上記基準板15と上記被検体16との間に、可動偏光板17を回転可能に配置し、この可動偏光板17の回転によって透過光量を変化させ、被検体16からの反射光量を調整する。この可動偏光板17は、僅かに傾けて配置することが好ましく、また上記被検体16の反射率に一致する可動偏光板15の回転位置が判断できる反射率目盛を付す。更に、上記可動偏光板17の透過波面収差を測定し、被検面データに対し補正することが好ましい。
請求項（抜粋）：
光源光を基準板及び被検体に与え、この基準板及び被検体の各面の光反射で干渉縞を形成する干渉計装置において、上記光源光を直線偏光へ変換する偏光変換手段又は直線偏光の光源を用いて、上記基準板及び被検体へ直線偏光の光を出射する光源部と、上記基準板と上記被検体との間の光路中に回転可能に配置され、この回転によって透過光量を変化させる可動偏光板とを備え、上記可動偏光板を回転させることにより、上記被検体から反射してくる光量を調整可能としたことを特徴とする干渉計装置。
引用特許：
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