特許
J-GLOBAL ID：200903045616226966
表面検査装置及び表面検査方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薄田 利幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-196431
公開番号（公開出願番号）：特開平5-040100
出願日： 1991年08月06日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】被測定試料表面の微小な領域を高感度で検査する表面検査装置及び表面検査方法を提供すること。【構成】マイクロ波発振器(5)に結合する空洞共振器(2)中に設置された被測定試料(3)の表面近くに走査トンネル顕微鏡計測系(8)を設け、被測定試料表面からのトンネル電流を計測可能に構成する。被測定試料表面にレーザ光(9)を照射することができる。【効果】磁気共鳴により不対電子近傍のキャリア密度を変化させ、その変化をトンネル電流の変化として検出する。
請求項（抜粋）：
試料の電子スピンのエネルギー状態を分離するための分離手段、該分離手段によって分離されたエネルギーの分離幅又は分離幅近傍のエネルギーに相当する電磁波を供給する手段及び磁気共鳴現象によるキャリア密度の変化を検出する手段を有することを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
