特許
J-GLOBAL ID：200903045628832977
液体噴射記録ヘッド、その製造方法、及び記録装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-080219
公開番号（公開出願番号）：特開平8-276591
出願日： 1995年04月05日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【目的】 安価、精密、また信頼性の高い高解像度の液室パターンを簡便に形成できる液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する。【構成】 液体吐出エネルギー発生素子が形成された基板上に(1) 溶出可能な樹脂でインク流路となる箇所にインク流路パターンを形成する工程、(2) 該パターン上にネガ型感光性材料層を形成する工程、(3) ネガ型感光性材料層上に、天井部材の下面に共通液室のマスキングパターンを形成した天井部材を貼り合わせる工程、(4) 天井部材の上面から天井部材を透過してネガ型感光材料層に光照射を施し、ネガ型感光性材料層をパターン硬化し、次いで現像する工程、(5) インク流路となる箇所で切断する工程、(6) 溶出可能な樹脂を溶出する工程、を順次行なう液体噴射記録ヘッドの製造方法において、天井部材に形成するマスキングパターンをノボラツク樹脂とナフトキノンジアジド化合物とを少なくとも含有するポジ型感光性材料で形成する。
請求項（抜粋）：
液体吐出エネルギー発生素子が形成された基板上に(1) 溶出可能な樹脂でインク流路となる箇所にインク流路パターンを形成する工程、(2) 該パターン上にネガ型感光性材料層を形成する工程、(3) ネガ型感光性材料層上に、天井部材の下面に共通液室のマスキングパターンを形成した天井部材を貼り合わせる工程、(4) 天井部材の上面から天井部材を透過してネガ型感光性材料層に光照射を施し、ネガ型感光性材料層をパターン硬化し、次いで現像する工程、(5) インク流路となる箇所で切断する工程、(6) 溶出可能な樹脂を溶出する工程、を順次行なう液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記天井部材に形成するマスキングパターンがノボラツク樹脂とナフトキノンジアジド化合物とを少なくとも含有するポジ型感光性材料で形成されてなることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
