液供給装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小西淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323373
公開番号（公開出願番号）：特開平10-146560
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】フオトマスクの微細加工に用いられる液体噴霧装置等に用いられる、加圧により液を吐出させる液供給用装置であって、加圧タンク内への液の補充が人手によらず簡単にでき、且つ低発塵の液供給用装置を提供する。【解決手段】加圧によりタンク内の液を吐出させて液を供給する液供給用タンクと、液供給用タンク内へ補充するための液を貯めておく補充用タンクと、液供給用タンクと補充用タンクとを結び、液供給用タンク内へ液を補充するための補充用配管と、液供給用タンク内の液を吐出するための吐出用配管と、液供給用タンク内の液を吐出用配管を介して加圧により吐出させるための加圧ガス(圧縮ガス)を液供給用タンク内へ導入する加圧ガス導入用配管と、液供給用タンク内を排気により減圧するための減圧用配管とを備え、各配管はそれぞれ制御弁により開閉されるもので、加圧ガス導入用配管、減圧用配管は、それぞれ独立に、ないし兼用した1つの接続用配管を介して、液供給用タンクに接続するものである。

請求項（抜粋）：

加圧によりタンク内の液を吐出させて液を供給する液供給用タンクと、液供給用タンク内へ補充するための液を貯めておく補充用タンクと、液供給用タンクと補充用タンクとを結び、液供給用タンク内へ液を補充するための補充用配管と、液供給用タンク内の液を吐出するための吐出用配管と、液供給用タンク内の液を吐出用配管を介して加圧により吐出させるための加圧ガス(圧縮ガス)を液供給用タンク内へ導入する加圧ガス導入用配管と、液供給用タンク内を排気により減圧するための減圧用配管とを備え、各配管はそれぞれ制御弁により開閉されるもので、加圧ガス導入用配管、減圧用配管は、それぞれ独立に、ないし兼用した1つの接続用配管を介して、液供給用タンクに接続するものであり、補充用配管は、補充用タンクの底部近くまで、その一端が達するように設けられ、吐出用配管は、液供給用タンク内の底部近くまでその一端が達するように設けられていることを特徴とする液供給装置。

IPC (4件)：

B05C 11/10 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341 , H01L 21/306

FI (5件)：

B05C 11/10 , H01L 21/304 341 N , H01L 21/30 564 C , H01L 21/30 569 C , H01L 21/306 J

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-043700
特開平4-074414
塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-346221 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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