特許
J-GLOBAL ID：200903045645656945
半導体レーザ測長器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-113466
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312523
出願日： 1992年05月06日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】 モードホップがなく高い信頼性の半導体レーザ測長器を提供する。【構成】 光源に分布帰還型又は分布反射型半導体レーザを用い、発振波長を温度制御又は注入電流制御により安定せしめる。分布帰還型及び分布反射型レーザは、その出力にモードホップがなく、また、コヒーレンス長も長い。従って、発振波長を容易に安定させることができ、同時に測長距離を長くできる。
請求項（抜粋）：
光源からの光を光路分割手段により方向の異なる二つの光に分割し、分割された夫々の光を参照反射鏡と移動反射鏡とに導き、該参照反射鏡と移動反射鏡で反射した光を一つに重ねて干渉縞を生ぜしめ、前記移動反射鏡と前記光源との間の距離の変化に伴う干渉縞の強度変化を光検出器で検出することにより前記移動反射鏡までの距離の変化を測定する測長器において、前記光源に分布帰還型又は分布反射型半導体レーザを用い、該半導体レーザに対し温度制御又は注入電流制御を行って、該半導体レーザの発振波長を安定せしめるようにしたことを特徴とする半導体レーザ測長器。
IPC (3件)：
G01B 11/02
, G01B 9/02
, H01S 3/18
