特許

J-GLOBAL ID：200903045648137850

マスフローコントローラー

発明者： 三五 利明
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-126797
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297955
出願日： 1992年04月20日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【目的】 マスフローコントローラーのセンサー部において、センサー部近傍の気体流路を流れる気体の温度変化をなくし、より正確に流量を制御する。【構成】 固定オリフィス2に設けられた第1の温度センサー7と、その前段に設けられた第2の温度センサー8により測定された温度差がゼロとなるように、第1及び第2のサーキュレーター10,11の冷媒温度を制御する。冷媒は、第1及び第2の細管12,13を通り、第1の温度センサー7及び第1の圧力計3と、第2の温度センサー8及び第2の圧力計4が設けてある近傍を温調し、第1の圧力計3と第2の圧力計4が設けてある近傍を通る気体の温度が同一温度となるよう制御され、固定オリフィス2を設けることによって生じる温度差により起こる流量誤差を補正する。

請求項（抜粋）：

温度センサーと、温調機構とを有し、気体流路の固定オリフィスと、その前段部との気体圧力に基いて気体流路の可変バルブを制御して流量をコントロールするマスフローコントローラーであって、温度センサーは、固定オリフィス設置箇所及びその前段部での流路の気体温度をそれぞれ測定するものであり、温調機構は、温度センサーの出力に基いて、固定オリフィス設置箇所及びその前段部での流路の気体温度を独立に調整し、流路内での気体温度を同一温度に制御するものであることを特徴とするマスフローコントローラー。