特許
J-GLOBAL ID：200903045649941210
耐食性及び密着性に優れた窒化チタン皮膜並びにその形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026986
公開番号（公開出願番号）：特開平6-240450
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：
【要約】【目的】 窒化チタンのターゲットを用いたスパッタリング法を基本とし、耐食性及び密着性に優れる窒化チタン皮膜並びにその様な皮膜を形成するための方法を提供する。【構成】 金属材料からなる母材表面に、窒化チタンターゲットを用いたスパッタリング法を適用して窒化チタン皮膜を形成するに当たり、雰囲気中のArガス圧を断続的または連続的に変化させつつ操業し、皮膜の最内層側から最表面側にかけて窒素濃度が断続的又は連続的に増加するように窒化チタン皮膜を構成する。
請求項（抜粋）：
金属材料からなる母材表面に、窒化チタンターゲットを用いたスパッタリング法を適用して窒化チタン皮膜を形成するに当たり、雰囲気中のArガス圧を断続的又は連続的に変化させつつ操業することを特徴とする耐食性及び密着性に優れた窒化チタン皮膜の形成方法。
IPC (2件)：
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