ダイシング方法及びダイシング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-166477
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013460
出願日： 1992年06月25日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】半導体ウェーハのダイシング方法及びダイシング装置に関し、ダイシング用ブレードの冷却不均一に起因するブレードの磨耗不均一(中凹現象)を防いでブレードを長寿命化すると共にウェーハのチッピングを軽微に保つことを目的とする。【構成】ブレード2の両側面近傍に配設された側面用ノズル4からブレード2側面周辺部に常温の冷却水を供給すると共に、複数の噴出口を備え、ブレード2外周面近傍に配設された外周面用ノズル15からブレード2外周面の複数個所に低温の冷却水を供給して、ブレード2を冷却する。

請求項（抜粋）：

高速回転してウェーハ(1) を切断するダイシング用ブレード(2) の側面(2a)周辺部に冷却水を供給すると共に、該ダイシング用ブレード(2)の外周面(2b)の一個所に該側面(2a)周辺部に供給する冷却水より低温の冷却水を供給して該ダイシング用ブレード(2) を冷却することを特徴とするダイシング方法。

IPC (2件)：

H01L 21/78 , B28D 7/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-149183
特開平3-149183
特開平3-149183

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