特許
J-GLOBAL ID：200903045661523475
熱圧着用ボンディングツール
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-006520
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211751
出願日： 1994年01月25日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】ボンディング時のツール加圧面の金属付着および接合部への片当りを防止する熱着用ボンディングツールを提供する。【構成】該ツールは、シャンク1と、セラミックスで構成されるT字形ヘッド2と、軟質で熱伝導率の高い中間材3とを備えている。ヘッド2と中間材3は、ヘッド保持部4に脱着可能に保持されている。【効果】中間材3は、ボンディング時に変形するので、接合部との平行度が調整され、片当りが低減される。
請求項（抜粋）：
金属材料で構成されるシャンクと、セラミックスで構成され、水平部と垂直部とからなるT字形ヘッドとを備える熱圧着用ボンディングツールにおいて、前記シャンクと前記T字形ヘッドとの間に中間材を備え、前記シャンクは、その下端部にヘッド保持部を備え、前記ヘッド保持部は、前記T字形ヘッドの水平部の下側の垂直部を、隙間をあけて挾み、前記中間材および前記T字形ヘッドを脱着可能に保持することを特徴とする熱圧着用ボンディングツール。
IPC (2件)：
引用特許：
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