特許

J-GLOBAL ID：200903045676030548

紫外光用ミラー、それを用いた露光装置

発明者： 成澤 孝司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-197981
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014921
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】 紫外域において発振するレーザー光に対して、耐久性が高く、広い入射角度において高反射であり(入射角度特性が良好であり)、かつ光線の入射角度変化に対する偏光反射率の変動の小さな(偏光成分の分離が小さい)紫外光用ミラーを提供することを目的とする。【手段】本発明は、基板と、前記基板上に形成されたアルミニウム膜と、前記アルミニウム膜上に形成される誘電体多層膜とを備えた紫外光用ミラーであって、前記アルミニウム膜の反射率が85%以上であることを特徴とする紫外線用ミラーを提供する。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成されたアルミニウム膜と、前記アルミニウム膜上に形成される誘電体多層膜とを備えた紫外光用ミラーであって、前記アルミニウム膜の反射率が85%以上であることを特徴とする紫外線用ミラー。

IPC (5件)：

G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (20件)：

2H048FA05 ,  2H048FA07 ,  2H048FA18 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA07 ,  2H048GA09 ,  2H048GA17 ,  2H048GA44 ,  2H048GA60 ,  2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097CA13 ,  2H097EA01 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F046BA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB23