特許

J-GLOBAL ID：200903045676504779

樹脂組成物層の乾燥方法、この乾燥方法を用いたカラーフィルタ基板の製造方法および液晶表示素子

発明者： 坂本 淳一 ,  須藤 正法 ,  岩田 研逸 ,  小佐野 永人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 西山 恵三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-366751
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241623
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 表面に異物、ピンホールおよび材料凝集等の欠陥がなく、プロセス滞留時間が長くても現像特性の優意な劣化がない樹脂組成物を形成する。【解決手段】 基板上に樹脂組成物を塗布、乾燥する樹脂組成物層の乾燥方法において、前記乾燥方法が真空乾燥であり、その時の乾燥条件が真空乾燥100Torrまでは6秒以上をかけて排気する。

請求項（抜粋）：

基板上に樹脂組成物を塗布し、乾燥する樹脂組成物層の乾燥方法において、前記乾燥する方法が真空乾燥であり、その時の乾燥条件が真空度100Torrまで6秒以上の時間をかけて排気することを特徴とする樹脂組成物層の乾燥方法。

IPC (4件)：

G02B 5/20 101 ,  B05D 3/12 ,  F26B 5/04 ,  G02F 1/1335 505

FI (4件)：

G02B 5/20 101 ,  B05D 3/12 A ,  F26B 5/04 ,  G02F 1/1335 505