特許

J-GLOBAL ID：200903045680842689

定電位電解式ガスセンサの電極

発明者： 中村 隆紀 ,  紺野 和夫
出願人/特許権者： 株式会社ガステック
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-123489
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313480
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 半導体製造用ガスを検知する電極であって、アルシン、ホスフィン等を検知した出力電流値が高く、干渉ガスとして存在する水素の干渉が小さく、かつアルコールに対しても感度が非常に低く、許容濃度以下で警報を出すことができる定電位電解式ガスセンサの電極を提供すること。【構成】 半導体製造に使用するガスの検知に用いる定電位電解式ガスセンサの電極であって、導電性の材質からなる担体に金の超微粒子からなる触媒を担持させたことからなる定電位電解式ガスセンサの電極である。

請求項（抜粋）：

半導体製造に使用するガスの検知に用いる定電位電解式ガスセンサの電極であって、導電性の材質からなる担体に金の超微粒子からなる触媒を担持させたことを特徴とする定電位電解式ガスセンサの電極。

IPC (2件)：

G01N 27/416 ,  G01N 27/404

FI (3件)：

G01N 27/46 311 A ,  G01N 27/30 341 K ,  G01N 27/46 311 G

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 定電位電解式ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-017330   出願人：株式会社ガステック
• 特開平3-152452