特許

J-GLOBAL ID：200903045687628305

時間分解測定装置

発明者： 西沢 充哲 ,  平井 伸幸
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  石田 悟 ,  池田 成人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-179775
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019537
出願日： 2003年06月24日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】時間分解測定の精度を高める。【解決手段】時間分解測定装置100は、光電子増倍管14中のマイクロチャンネルプレート30に取り付けられた出力端子34から検出タイミングパルスを取得する。位置時間測定回路16は、試料10の励起に同期した基準時間パルスと検出タイミングパルスとの時間差を示す信号を生成し、データ処理装置18に送る。データ処理装置は、この時間差を発光の検出時刻として記憶する。データ処理装置は、マイクロチャンネルプレート上における検出タイミングパルスの発生位置と出力端子との距離に応じて検出時刻を補正する。これにより、時間分解測定の精度が高まる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

試料の励起によって発する量子線の位置情報およびタイミング情報を取得する時間分解測定装置であって、 前記試料の励起に同期して基準時間パルスを生成する信号発生器と、 前記量子線を検出し、検出位置に応じた位置信号および検出タイミングに同期した検出タイミングパルスを生成する検出装置と、 前記位置信号を用いて前記検出位置を算出する位置演算器と、 前記基準時間パルスと前記検出タイミングパルスとの時間差を計測する時間差計測器と、 前記位置演算器によって算出された前記検出位置と、前記時間差測定器によって計測された前記時間差とを対応付けて記憶するデータ処理装置と、を備え、 前記検出装置は、位置検出型電子増倍管を有しており、 前記電子増倍管は、前記量子線の前記電子増倍管への入射位置に応じた位置に電子を生成し、その位置を維持しながら前記電子を増倍するマイクロチャンネルプレート、および前記マイクロチャンネルプレートに電気的に接続された出力端子を有しており、 前記検出タイミングパルスは、前記マイクロチャンネルプレートによって増倍された電子が前記マイクロチャネルプレートから放出されるときの電位変化に応じて発生し、前記マイクロチャネルプレートから前記出力端子を通じて前記時間差計測器へ送られ、 前記データ処理装置は、前記マイクロチャネルプレート上における前記検出タイミングパルスの発生位置と前記出力端子との距離に応じて前記時間差を補正し、補正された時間差を前記検出位置と対応付けて記憶する、時間分解測定装置。

IPC (7件)：

H01L21/66 ,  G01N23/225 ,  G01N27/62 ,  G01T1/17 ,  H01J37/244 ,  H01J43/24 ,  H01J49/06

FI (7件)：

H01L21/66 L ,  G01N23/225 ,  G01N27/62 K ,  G01T1/17 E ,  H01J37/244 ,  H01J43/24 ,  H01J49/06

Fターム (43件)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA07 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001CA07 ,  2G001GA03 ,  2G043AA01 ,  2G043EA01 ,  2G043EA11 ,  2G043FA03 ,  2G043GA08 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA05 ,  2G043LA02 ,  2G043NA04 ,  2G088EE30 ,  2G088GG28 ,  2G088KK09 ,  2G088KK24 ,  2G088KK29 ,  2G088KK35 ,  2G088LL30 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AB01 ,  4M106BA20 ,  4M106CA18 ,  4M106DH01 ,  4M106DH12 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  5C033NN04 ,  5C033NN10 ,  5C033NP06 ,  5C033NP08 ,  5C038BB03 ,  5C038BB06 ,  5C038BB07 ,  5C038FF03