特許
J-GLOBAL ID：200903045688032120
繰返しパターンの欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-231022
公開番号（公開出願番号）：特開平8-128976
出願日： 1983年04月15日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】撮像装置として、電子線を1次元的に走査してそれにより発生する電子量を検知することにより、極めて微細な繰返しパターンの欠陥を検査する。【構成】被検査物を固定し移動させる移動台6と、電子線により走査して、電子線の照射により発生する電子量を検知することにより映像信号を得る撮像手段10と、映像信号を多値のディジタル信号に変換する変換手段11と、隣接する繰返しパターンに対応する多値のディジタル信号を比較する比較手段13とを備える。
請求項（抜粋）：
繰返しパターンを含む部分が所定ピッチにて配列された被検査物の外観を検査する繰返しパターンの欠陥検査装置において、上記被検査物を固定し、上記繰返しパターンを含む部分が配列された方向に移動させる移動台と、上記被検査物を電子線により上記移動台の移動方向と直交する方向に走査して、上記電子線の照射により発生する電子量を検知することにより映像信号を得る撮像手段と、上記撮像手段により得た映像信号を多値のディジタル信号に変換する変換手段と、上記被検査物を上記撮像手段で走査して得た映像信号を上記変換手段により変換した第1の多値のディジタル信号と、上記第1の多値のディジタル信号を得た走査位置から少なくとも上記所定ピッチ移動した位置で上記被検査物を上記撮像手段で走査して得た映像信号を上記変換手段により変換した第2の多値のディジタル信号とを比較する比較手段とを備え、上記繰返しパターンの欠陥を検査することを特徴とする繰返しパターンの欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01N 23/225
, G01B 15/00
, G06T 7/00
, H01L 21/66
