特許

J-GLOBAL ID：200903045692743783

圧電振動素子とその製造方法および圧電フィルタ

発明者： 佐々木 幸紀
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-265601
公開番号（公開出願番号）：特開2001-094385
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 タンタル酸リチウムのX板を用い厚みすべり振動を主振動とする圧電振動素子において、機械的強度を向上させるために振動伝搬方向素子長さを短くしつつQの低下を抑制し、かつインハーモニック・オーバートーンモードが閉じ込められない単一モードが得られる圧電振動素子とその製造方法および圧電フィルタを提供することを目的とする。【解決手段】 励振用電極2の振動伝搬方向長さLeと振動素子部1の厚みHとの比Le/Hを3.0以上3.7以下とし、かつ励振用電極2の遮断周波数をf0、無電極部の遮断周波数をfcとした時の周波数低下量(fc-f0)/fcを0.12以上0.2以下とすることで、素子端部における振動変位を十分小さくして素子長さを短くしつつ高いQを実現でき、かつ単一モードが得られるという効果を有する。

請求項（抜粋）：

タンタル酸リチウムのX板を用い厚みすべり振動を主振動とする圧電振動素子において、振動伝搬方向の励振用電極長さLeと素子厚みHとの比Le/Hを3.0以上3.7以下とし、かつ励振用電極部遮断周波数をf0、無電極部遮断周波数をfcとした時の周波数低下量(fc-f0)/fcを0.12以上0.2以下とした圧電振動素子。

IPC (6件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/56

FI (6件)：

H03H 9/17 G ,  H03H 3/04 B ,  H03H 9/02 M ,  H03H 9/56 D ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z

Fターム (15件)：

5J108AA01 ,  5J108BB01 ,  5J108CC04 ,  5J108CC12 ,  5J108DD02 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108FF04 ,  5J108HH04 ,  5J108HH05 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK05 ,  5J108MM14