デバイス製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-175336
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354428
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】チャッククリーニングの動作状態を検知する。【解決手段】クリーニングプレートとチャックとを接触させた状態で両者を相対的に移動させて該チャックのクリーニングを行なう駆動機構を備えたデバイス製造装置において、クリーニング中の該駆動機構の負荷を検知する手段を設ける。

請求項（抜粋）：

クリーニングプレートとチャックとを接触させた状態で両者を相対的に移動させて該チャックのクリーニングを行なう駆動機構を備えたデバイス製造装置において、前記チャックのクリーニング中における該駆動機構の負荷を検知する手段を設けたことを特徴とするデバイス製造装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 503 G , G03F 7/20 521

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