特許
J-GLOBAL ID：200903045697066372
物理量測定装置および振動子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
細田 益稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-365632
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166828
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】屈曲振動アームを有する振動子を用いて物理量を検出する物理量測定装置において、駆動振動アームの剛性を低く抑えつつ、振動子に加わる直線加速度や外乱に起因する検出信号のノイズを抑制できるようにする。【解決手段】物理量測定装置、例えば振動型ジャイロスコープは、振動子、振動子に駆動振動を励振する駆動手段、物理量に応じて振動子に励振される検出振動に基づく出力信号を得る検出手段、この出力信号を処理し、物理量に対応する検出信号を得る検出回路を備えている。振動子が、所定面(X-Y面)内で屈曲振動する少なくとも一つの屈曲振動アーム1A、1Bを備えている。屈曲振動アームが、少なくとも一対の相対向する基部2A、2Bと、基部2Aと2Bとを接続する接続部3を備えている。接続部3と一対の基部2A、2Bとによって一対の凹部8A、8Bが形成されている。
請求項（抜粋）：
振動子を用いて物理量を検出する物理量測定装置であって、振動子、この振動子に駆動振動を励振する駆動手段、前記物理量に応じて前記振動子に励振される検出振動に基づく出力信号を得る検出手段、前記出力信号を処理し、前記物理量に対応する検出信号を得る検出回路を備えており、前記振動子が、所定面内で屈曲振動する少なくとも一つの屈曲振動アームを備えており、この屈曲振動アームが、少なくとも一対の基部と、これらの基部を接続する接続部とを備えており、前記接続部と前記一対の基部とによって一対の凹部が形成されていることを特徴とする、物理量測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F105AA02
, 2F105BB03
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD11
, 2F105CD13
審査官引用 (2件)
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振動子及び角速度検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-029211
出願人：セイコーエプソン株式会社
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角速度検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-044688
出願人：セイコーエプソン株式会社
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