特許

J-GLOBAL ID：200903045698300654

光導波路デバイス

発明者： 岸田 裕司 ,  竹村 浩二 ,  米田 竜司
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-258110
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104559
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】 簡便な構成で温度ドリフトを極力抑えることができる信頼性の優れた光導波路デバイスを提供すること。【解決手段】 焦電性基板1の表層に形成された光導波路2上に、誘電体層3及び電極層10を順次積層して成る光導波路デバイスS1であって、焦電性基板1の表面に比抵抗値が106 Ω・cmより小さい導電層5を形成させるとともに、導電層5を電極層10に電気的に接続させたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

焦電性基板の表層に形成された光導波路上に、誘電体層及び電極層を順次積層して成る光導波路デバイスであって、前記焦電性基板の表面に比抵抗値が106 Ω・cmより小さい導電層を形成させるとともに、該導電層を前記電極層に電気的に接続させたことを特徴とする光導波路デバイス。