特許

J-GLOBAL ID：200903045698662661

超精密形状測定方法及びその装置

発明者： 森 勇藏
出願人/特許権者： 森 勇藏
代理人 (1件)： 柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-060997
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257523
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】 任意の表面形状を有する被測定面形状を、光干渉法のような基準面を使用せずに、光路の安定性を利用し、高い精度で測定することができるとともに、装置を小型化することが可能な超精密形状測定方法及びその装置を提供する。【解決手段】 測定系4と被測定物8のそれぞれの基準位置を設定した後、測定系の光源から出射された収束光を被測定面上の各点へ照射し、その入射光とその点での反射光の光軸とが重なるように測定系と被測定物の双方の位置と角度を微調整し、光源から被測定面までの距離を測定し、測定系と被測定物の基準位置からの位置と角度の偏差から被測定面の各点における法線ベクトルを測定し、法線ベクトルから表面の各点での傾きを算出し、任意の点での傾きを補間し、その傾きを測定領域にわたって積分することによって表面形状を算出する。

請求項（抜粋）：

測定系と被測定物のそれぞれの基準位置を設定した後、測定系の光源から出射された収束光を被測定面上の各点へ照射し、その入射光とその点での反射光の光軸とが重なるように測定系と被測定物の双方の位置と角度を微調整するとともに、光源から被測定面までの距離を測定し、測定系と被測定物の基準位置からの位置と角度の偏差から被測定物表面の各点における法線ベクトルを測定し、該法線ベクトルから表面の各点での傾きを算出するとともに、任意の点での傾きを補間し、その傾きを測定領域にわたって積分することによって表面形状を算出してなることを特徴とする超精密形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01M 11/00

FI (2件)：

G01M 11/00 M ,  G01B 11/24 A

Fターム (18件)：

2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065CC22 ,  2F065DD03 ,  2F065GG05 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ24 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL08 ,  2F065LL28 ,  2F065LL36 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ28 ,  2G086GG02