特許
J-GLOBAL ID：200903045723500981
除塵装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉井 昭栄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-171351
公開番号（公開出願番号）：特開平5-015862
出願日： 1991年07月11日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【構成】 イオン化エアーを射出するノズル1を除塵するワーク2に向けて配設し、このノズル1より射出されるイオン化エアーを断続射出若しくは強弱射出せしめるエアー制御機構をエアー供給側に設けた除塵装置。【効果】 イオン化エアーをねらったワーク2に的確に吹き付けることができ、しかもこのイオン化エアーを断続射出若しくは強弱射出せしめて圧力差をつけてワーク2に吹き付けるため、単なる吹き付けに比し著しい除塵効果を発揮し、特に小さいものでありながら微細な塵を完全に除塵することが要望されている電子部品の除塵に極めて秀れた除塵装置となる。
請求項（抜粋）：
イオン化エアーを射出するノズルを除塵するワークに向けて配設し、このノズルより射出されるイオン化エアーを断続射出若しくは強弱射出せしめるエアー制御機構をエアー供給側に設けたことを特徴とする除塵装置。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
-
特開昭59-150585
-
特開昭63-156584
前のページに戻る
