特許

J-GLOBAL ID：200903045729824240

固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 鎌田 勝敬
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043571
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260629
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】 スミア及び感度のばらつきの少ない固体撮像素子を提供する。【構成】 N型シリコン基板1に、第1P-層2と電荷転送部5を設け、電荷転送部5を覆うように電荷転送電極7と光電変換部9を形成し、タングステンシリサイド膜10を堆積してから全面エッチバックを行い、電荷転送電極7の側面にサイドウォールを設けて第1の遮光膜11とし、絶縁膜12を介して第2の遮光膜13と第3の遮光膜14とを、電荷転送電極7上に設ける構成による。【効果】 位置合わせずれの影響を受けないため、スミア及び感度のばらつきを低減することができ、さらには、解像限界以下の開口部を形成することができる。

請求項（抜粋）：

半導体基板表面に形成した光電変換部と、該光電変換部に生じた信号電荷を読み出し転送する電荷転送電極及び電荷転送部より形成される転送部と、上記電荷転送部上に設けられた遮光部とを有する固体撮像素子において、上記電荷転送電極の側面に、遮光材料からなるサイドウォールを設けることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (4件)：

H01L 27/148 ,  H01L 21/339 ,  H01L 29/796 ,  H04N 5/335

FI (2件)：

H01L 27/14 B ,  H01L 29/76 301 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭58-094913
  
• 特公昭58-022291