特許
J-GLOBAL ID：200903045731608619
加工物等の吸着ヘッド装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
穴見 之武義 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-140022
公開番号（公開出願番号）：特開平6-320467
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：
【要約】【目的】 吸着した加工物をチャッする位置決め爪と、この位置決め爪を作動させる当接部との相互の係合部分に接摺摩耗がなく、また、加工物を正確に位置決めチャックできる加工物等の吸着ヘッド装置を提供することを目的とする。【構成】上下方向に設けられたシリンダ体12と、シリンダ体内に気密状に軸支され下端に吸着口32を備えた吸着ロッド14と、吸着口の近傍位置に枢着され、加工物をチャック作動する把持端部50と作動端部52とを備えた位置決め爪14とを有し、シリンダ体側或は吸着ロッド側には、位置決め爪をチャック動作させる当接部58が設けられ、当接部と作動端部が当接し始めて加工物をチャックするまでの作動端部の移動範囲が水平線に対し略45度以内に設定されて成る。当接部と作動端部との接合面に摩耗がなく、正確に位置決めチャックできる。
請求項（抜粋）：
上下方向に設けられたシリンダ体と、このシリンダ体の長手方向に作動し得る様に同シリンダ体内に気密状に軸支され、下端部に加工物等を吸着する吸着口を備えた吸着ロッドと、前記吸着口の近傍位置に枢着され、同吸着口に吸着された加工物を周縁側からその中央側へ収束するように作動する把持端部を備えると共に、他端部に作動端部を備えた略L字状の位置決め爪と、を有し、前記シリンダ体側あるいは吸着ロッド側には、前記吸着ロッドの上昇移動にともない前記位置決め爪の作動端部と係合しつつ把持端部を前記中央側へ収束させる当接部が設けられ、前記当接部と位置決め爪の作動端部が当接し始めて把持端部が加工物等をその中央側収束位置に収束するまでの作動端部の移動範囲が、水平線に対し略45度以内の角度範囲に設定されて成ることを特徴とする加工物等の吸着ヘッド装置。
IPC (4件)：
B25J 15/06
, B25J 15/08
, H01L 21/52
, H01L 21/68
