特許

J-GLOBAL ID：200903045742295914

変位測定装置

発明者： 野田 孝 ,  佐藤 誠 ,  茂呂澤 孝浩 ,  横溝 信次 ,  木村 哲郎
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195985
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021304
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 周囲の温度環境が変化しても、常に高精度な測定を可能にする。【解決手段】 測定空間内に配置されたワーク19の変位を、その変位の方向に沿うように支持部材に支持されたX,Y,Z軸スケールで読み取ることにより測定する変位測定装置において、各軸スケールは、それ自身及び支持部材の熱膨張による測定位置での誤差が最も少なくなる特定の部位で支持部材に固定され、その他の部位は支持部材に対して変位の方向に移動可能に支持されている。

請求項（抜粋）：

所定の測定空間内に配置された測定対象の変位を、その変位の方向に沿うように支持部材に支持されたスケールで読み取ることにより測定する変位測定装置において、前記スケールは、それ自身及び前記支持部材の熱膨張による測定位置での誤差が最も少なくなる特定の部位で前記支持部材に固定され、その他の部位は前記支持部材に対して前記変位の方向に移動可能に支持されていることを特徴とする変位測定装置。

IPC (2件)：

G01B 5/20 101 ,  G01B 21/00

FI (2件)：

G01B 5/20 101 A ,  G01B 21/00 E

Fターム (22件)：

2F062AA04 ,  2F062CC03 ,  2F062DD02 ,  2F062DD33 ,  2F062DD36 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF05 ,  2F062HH01 ,  2F062HH02 ,  2F069AA04 ,  2F069AA06 ,  2F069EE02 ,  2F069EE24 ,  2F069EE26 ,  2F069GG01 ,  2F069GG12 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069HH02 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ08