特許
J-GLOBAL ID：200903045750152170
クリーン自動作業装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295551
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151267
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 大容量のクリーンルームを用いることなく、十分なクリーン状態で作業をすることを可能とする。【構成】 第1の装置3のケーシング4に蛇腹部材6を設けて、一般雰囲気と区別されるクリーンな雰囲気のワークエリア7を形成する。自動作業機11のアーム部11cの下端部が、上記ブーツ部材6をシール性を保って貫通し、アーム部11cの先端部のエンドエフェクタ11dがワークエリア7内に位置する。そして、クリーンな雰囲気のワークエリア7内でワークWに対して所定の作業を行うようになっている。また、ケーシング4内の搬送手段2のモータ2aや減速機構2b等の駆動系もワークエリア7の下方外部に配設しているので、特別なクリーン化を行う必要もない。
請求項（抜粋）：
クリーンなワークエリアを有し一般雰囲気の空間に配置される第1の装置と、該第1の装置のワークエリア内での作業を行う作業部を有し本体部が一般雰囲気の空間に配置される第2の装置と、該第2の装置の作業部がシール性を保って貫通され第1の装置のワークエリアと第2の装置の存在する空間とを遮断する遮断部材とを備えることを特徴とするクリーン自動作業装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, B65G 49/00
, F24F 7/06
