特許

J-GLOBAL ID：200903045751916611

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム

発明者： 山崎 宏 ,  大友 聡
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343046
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194843
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】 プリント配線板の取扱い上、基板相互の接触等による、レジストの剥離を防止するため、基板との密着性の良好な感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルムを提供する。【構成】 (a)重量平均分子量が20,000〜300,000のカルボキシル基を有する高分子化合物、(b)エチレン性不飽和化合物及び(c)活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤を含有してなるアルカリ水溶液に対して可溶又は膨潤可能な感光性樹脂組成物において、(b)エチレン性不飽和化合物が、シリコーン基を有するエチレン性不飽和化合物を必須成分として含む感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム。

請求項（抜粋）：

(a)重量平均分子量が20,000〜300,000のカルボキシル基を有する高分子化合物、(b)エチレン性不飽和化合物及び(c)活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤を含有してなるアルカリ水溶液に対して可溶又は膨潤可能な感光性樹脂組成物において、(b)エチレン性不飽和化合物が、シリコーン基を有するエチレン性不飽和化合物を必須成分として含む感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/075 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/085 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00