特許

J-GLOBAL ID：200903045754284870

容量センサ装置

発明者： マテイアス・クラウス
出願人/特許権者： ツエントルム・ミクロエレクトロニク・ドレスデン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-336146
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185970
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】 高い測定精度を保証して簡単に製造でき、種々の使用分野にあっても頑丈である電荷平衡原理によるセンサ装置を提示する。【解決手段】 出力端と反転入力端の間に積分コンデンサが接続され、非反転入力端が基準電位に接続する演算増幅器から成る電荷平衡変換器と、第一電極が第一電位あるいは基準電位に接続し、第二電極が基準電位あるいは演算増幅器の反転入力端に接続する第一コンデンサと、第一電極が第二電位または基準電位に接続し、第二電極が基準電位または非反転入力端に接続する第二コンデンサと、演算増幅器の出力端に接続する比較器と、スイッチング過程を制御するクロック発生器とを備えた容量センサ装置にあって、第一電位が補助電位Uである第二電位に等しく、第一コンデンサC1 と第二コンデンサC2 が差動コンデンサ14の部分コンデンサである。

請求項（抜粋）：

出力端と反転入力端の間に積分コンデンサが接続され、非反転入力端が基準電位に接続する演算増幅器から成る電荷平衡変換器と、第一電極が第一電位あるいは基準電位に接続し、第二電極が基準電位あるいは演算増幅器の反転入力端に接続する第一コンデンサと、第一電極が第二電位または基準電位に接続し、第二電極が基準電位または非反転入力端に接続する第二コンデンサと、演算増幅器の出力端に接続する比較器と、スイッチング過程を制御するクロック発生器とを備えた容量センサ装置において、第一電位が補助電位(U)である第二電位に等しく、第一コンデンサ(C1 )と第二コンデンサ(C2 )が差動コンデンサ(14)の部分コンデンサであることを特徴とする容量センサ装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平3-503804
  
• 特開昭60-242317