特許
J-GLOBAL ID:200903045759424939
光走査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
樺山 亨 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-243656
公開番号(公開出願番号):特開平5-080265
出願日: 1991年09月24日
公開日(公表日): 1993年04月02日
要約:
【要約】【目的】光走査装置の結像光学系中に用いられるプラスチックレンズの偏光特性の歪みに基づく偏光干渉の影響を除く。【構成】直線偏光したレーザー光を放射する光源装置1からのレーザー光束を光偏向器5により偏向させ、光源装置5から被走査面7に到る光路上に配備される結像光学系2,6により被走査面7上に光スポットSPを形成し、この光スポットSPにより被走査面7を光走査する装置であって、結像光学系2,6中にプラスチックレンズを含み、光源装置1から被走査面7に到る光路中にλ/4波長板2を配備する。
請求項(抜粋):
直線偏光したレーザー光を放射する光源装置からのレーザー光束を光偏向器により偏向させ、上記光源装置から被走査面に到る光路上に配備される結像光学系により被走査面上に光スポットを形成し、この光スポットにより上記被走査面を光走査する装置であって、上記結像光学系中にプラスチックレンズを含み、上記光源装置から被走査面に到る光路中に、λ/4波長板を配備したことを特徴とする光走査装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L 21/30 311 M
, H01L 21/30 321
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平1-315718
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特開昭58-042025
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特開平1-100510
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