特許

J-GLOBAL ID：200903045763496588

選択的コーティングによるセラミック体の製造方法

発明者： クオ-チョアン リウ ,  マイケル ジー リー ,  ウェン-チョウ ヴィンセント ワン
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-114494
公開番号（公開出願番号）：特開2002-008939
出願日： 2001年04月12日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、選択的コーティングを使用したセラミック体の製造方法の提供を目的とする。【解決手段】 本発明によれば、セラミック原料溶媒は、マスク層内及び導電材上で析出される。ゲル材は、析出したセラミック原料溶媒から形成され、セラミック体はゲル材から形成される。

請求項（抜粋）：

マスク層の開口内及び第1の導電体上にセラミック原料溶剤を析出させる工程と、析出したセラミック原料溶剤からゲル体を形成する工程と、ゲル体からセラミック体を形成する工程と、セラミック体上に第2の導電体を形成する工程と、を有する方法。

IPC (5件)：

H01G 4/12 400 ,  H01G 4/12 394 ,  H01L 23/12 ,  H01L 27/105 ,  H01L 41/24

FI (5件)：

H01G 4/12 400 ,  H01G 4/12 394 ,  H01L 27/10 444 C ,  H01L 41/22 A ,  H01L 23/12 B

Fターム (11件)：

5E001AC04 ,  5E001AH00 ,  5E001AH03 ,  5F083FR01 ,  5F083JA02 ,  5F083JA06 ,  5F083JA14 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA43