特許

J-GLOBAL ID：200903045766459632

モアレ測定方法及びそれを用いたモアレ測定装置

発明者： 神谷 誠一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-301681
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121335
出願日： 1998年10月08日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 光学部品の形状や光学材料の屈折率の分布をモアレを利用して高精度に測定することができるモアレ測定方法及びそれを用いたモアレ測定装置を得ること。【解決手段】 被測定物の光波面情報を含んだ被測定画像情報とキャリア成分を含む仮想画像情報とから仮想的にモアレ縞を発生させ、被測定物の光波面情報の形状誤差を2次元位相分布から検出するモアレ測定方法において、該モアレ縞に含まれるキャリア成分を除去するフィルタリング方法として畳み込み積分を利用すること。

請求項（抜粋）：

被測定物の光波面情報を含んだ被測定画像情報とキャリア成分を含む仮想画像情報とから仮想的にモアレ縞を発生させ、被測定物の光波面情報の形状誤差を2次元位相分布から検出するモアレ測定方法において、該モアレ縞に含まれるキャリア成分を除去するフィルタリング方法として畳み込み積分を利用することを特徴とするモアレ測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01M 11/02

FI (2件)：

G01B 11/24 D ,  G01M 11/02 B

Fターム (30件)：

2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065CC21 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF06 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL32 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM22 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ15 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G086FF01 ,  2G086GG04 ,  2G086HH07

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特公平7-060086
  
• 形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-242609   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平2-193270
  

審査官引用 (2件)

• 特公平7-060086
  
• 形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-242609   出願人：キヤノン株式会社