特許
J-GLOBAL ID：200903045772683153
非線形液晶表示素子用製造装置および非線形液晶表示素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-115167
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308540
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【構成】 窒素ガス27をガラス基板1に噴射するジェットノズル22と、ガラス基板を加熱する基板加熱ヒーター24と、窒素ガスを加熱する窒素ガス加熱ヒーター23を有する非線形液晶表示素子用製造装置およびその製造方法。【効果】 従来問題であった接触抵抗を大幅に低減することが可能である。この結果、金属タンタルをもちいて作製したアクティブ型液晶表示装置は、従来の金属タンタル/透明導電膜界面での高い接触抵抗による電気信号強度の低下や、窒化タンタルに見られる非線形素子の電気特性のばらつきがない。このために、従来の非線形素子を駆動素子に用いた液晶表示装置に比べ、表示ばらつきのない高い表示品質を示す。
請求項（抜粋）：
窒素ガスをガラス基板に噴射するためのジェットノズルと、ガラス基板を加熱するための基板加熱ヒーターと、窒素ガスを加熱するための窒素ガス加熱ヒーターを有することを特徴とする非線形液晶表示素子用製造装置。
IPC (2件)：
G02F 1/136 510
, H01L 49/02
