特許
J-GLOBAL ID：200903045773484650
無発塵ペリクル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武井 英夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-258454
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083691
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 輸送やハンドリング時、及びマスク貼り付け後の輸送やハンドリング時の振動や衝撃によりペリクル枠外側から異物が発塵することの無い、無発塵ペリクルを提供する。【解決手段】 ペリクル枠と、該ペリクル枠にペリクル膜を接着剤を介して張着したペリクルにおいて、該ペリクル枠の内面及び外面に粘着性物質の薄膜を設けてなる無発塵ペリクル。
請求項（抜粋）：
ペリクル枠と、該ペリクル枠にペリクル膜を接着剤を介して張着したペリクルにおいて、該ペリクル枠の内面及び外面に粘着性物質の薄膜を設けてなることを特徴とする無発塵ペリクル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 K
, H01L 21/30 502 P
2H095BC35
, 2H095BC38
, 2H095BC39
