有機電界発光装置の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-008617
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203079
出願日： 2000年01月18日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】有機電界発光装置の製造方法において、繰り返し多数回の発光層および第二電極のパターニングに用いたため、材料の堆積物が蓄積し、設計通りのパターニングに支障の生じたシャドーマスクを容易に再生させ、再使用する。【解決手段】基板上に形成された第一電極と、第一電極上に形成された少なくとも有機化合物からなる発光層を含む薄膜層と、薄膜層上に形成された第二電極とを含む有機電界発光装置の製造方法であって、シャドーマスクを有機電界発光装置の製造に使用し、使用したシャドーマスクを洗浄した後、有機電界発光装置の製造に再使用することを特徴とする有機電界発光装置の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第一電極と、第一電極上に形成された少なくとも有機化合物からなる発光層を含む薄膜層と、薄膜層上に形成された第二電極とを含む有機電界発光装置の製造方法であって、シャドーマスクを有機電界発光装置の製造に使用し、使用したシャドーマスクを洗浄した後、有機電界発光装置の製造に再使用することを特徴とする有機電界発光装置の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 , H05B 33/12 , H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/10 , H05B 33/12 B , H05B 33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB00 , 3K007AB04 , 3K007BA06 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA00 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA00 , 3K007FA01

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