特許
J-GLOBAL ID：200903045776337667
処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-296148
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142391
出願日： 1993年11月01日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 装置内の消耗品を適切な時期に交換することができる処理方法を提供する。【構成】 被処理体Wを処理するための、例えば内側管24と外側管26とよりなる処理容器22内での処理方法において、処理容器内を所定の回数クリーニングしたことに応答して内部の、上記内側管と外側管を含む消耗品を交換する。この場合、予め一回のクリーニング操作による消耗量を求めておき、これに基づいて交換のためのクリーニング回数を決定する。これにより、消耗量チェックのための検査を不要とし、保守管理を効率的に行う。
請求項（抜粋）：
被処理体を処理容器に搬入して処理する方法において、前記処理容器内を、所定のクリーニングしたことに応答して前記処理容器内の消耗品を交換するように構成したことを特徴とする処理方法。
引用特許：
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