紫外線レーザ装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-030116
公開番号（公開出願番号）：特開平9-205244
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】高い効率で紫外線レーザ光を発生させるとともに、高い波長安定性を実現する紫外線レーザ装置を提供すること。【解決手段】Nd:YAGレーザの2倍波を基本波とするレーザ光源(21)と、内部に沃素吸収セル(TC)と基本波の2倍波を発生させる非線形結晶(22)とが配置されリング型外部共振器(20)により紫外線レーザ光を発生させる紫外線レーザ装置において、基本波の光周波数と外部共振器の共振器周波数が一致するようリング型外部共振器(20)の共振器長を制御するとともに、沃素分子の吸収スペクトルの均一幅内に基本波の波長が含まれるようにレーザ光源(21)の共振器長を制御する。

請求項（抜粋）：

Nd:YAGレーザの2倍波を放出するレーザ光源と、内部に沃素吸収セルと上記2倍波を基本波として該基本波の2倍波を発生させる非線形結晶とが配置され、複数のミラーにより構成されるリング型外部共振器と、上記レーザ光源と上記外部共振器との間に配置され、上記基本波を第1の基本波と第2の基本波とに分割する分割手段と、上記分割手段と上記外部共振器との間に配置され、上記第1の基本波を位相変調する第1の位相変調手段と、上記第1の位相変調手段、リング型外部共振器を通過した位相変調された第1の基本波の変調成分を検出する第1の検出手段と、上記分割手段と上記外部共振器との間に配置され、上記第2の基本波を位相変調する第2の位相変調手段と、上記第2の位相変調手段を通過した位相変調された第2の基本波が上記外部共振器内の沃素吸収セルを通過する位相変調された第1の基本波の進行方向と反対になるように、該位相変調された第2の基本波の上記外部共振器への入射光向を変換する方向変換手段と、上記方向変換手段と上記沃素吸収セルを通過した位相変調された第2の基本波の変調成分を検出する第2の検出手段と、制御手段とを有し、上記レーザ光源は、共振器長制御機構を含み、上記リング型外部共振器を構成する複数のミラーの少なくとも一つは位置制御機構に設置され、上記制御手段は、上記第1の検出手段からの検出信号をもとに、上記第1の基本波の光周波数と上記リング型外部共振器の共振周波数とが常に一致するように上記位置制御機構を駆動するとともに、上記第2の検出手段からの検出信号をもとに、上記第1の基本波が沃素セルを通過することにより得られる沃素の吸収スペクトルの均一幅内に上記基本波の波長が含まれるように上記共振器長制御機構を駆動することを特徴とする紫外線レーザ装置。

IPC (3件)：

H01S 3/106 , H01S 3/00 , H01S 3/136

FI (3件)：

H01S 3/106 , H01S 3/00 B , H01S 3/136

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