超音波センサの共振周波数調整方法及び装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：板谷康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-283843
公開番号（公開出願番号）：特開2005-051685
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：

【課題】超音波センサの共振周波数調整方法及び装置において、共振系を持つ複数の超音波受波素子の共振周波数を目標値に高精度に調整することを可能とする。【解決手段】ベース基材に形成したダイアフラム構造のメンブレン部に、超音波を受けて圧電効果により電圧を発生する強誘電体薄膜を形成した超音波センサの共振周波数を調整する方法であって、センサの共振周波数が目標値に近付くように、メンブレン部のベース基材支持層をレーザ照射によりトリミングし、又はレーザ照射により金属薄膜を転写してデポジットする。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

ベース基材に形成したダイアフラム構造のメンブレン部に、超音波を受けて圧電効果により電圧を発生する強誘電体薄膜を形成した超音波センサの共振周波数を調整する方法であって、センサの共振周波数が目標値に近付くように、前記メンブレン部のベース基材支持層をレーザ照射によりトリミングすることを特徴とする超音波センサの共振周波数調整方法。

IPC (8件)：

H04R1/22 , G01S7/521 , H01L29/84 , H01L41/08 , H01L41/187 , H03H9/02 , H03H9/17 , H04R17/00

FI (9件)：

H04R1/22 330 , H01L29/84 Z , H03H9/02 M , H03H9/17 F , H04R17/00 332B , H01L41/08 Z , H01L41/08 D , H01L41/18 101D , G01S7/52 A

Fターム (23件)：

4M112AA06 , 4M112BA10 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA06 , 4M112DA03 , 4M112DA18 , 4M112EA02 , 4M112EA06 , 4M112FA20 , 5D019AA08 , 5D019BB19 , 5J083AC18 , 5J083BE21 , 5J083CA07 , 5J083CA12 , 5J083CB01 , 5J083CB14 , 5J108AA02 , 5J108AA09 , 5J108HH04 , 5J108HH06 , 5J108KK06

引用特許：

出願人引用 (1件)

音波センサ及び遅延回路を備えた半導体装置及び視覚障害者用杖及び3次元計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-353471 出願人：大阪府, 財団法人大阪府研究開発型企業振興財団, 山下馨, 青柳誠司

前のページに戻る