特許
J-GLOBAL ID：200903045789100887
硬質炭素膜、薄膜二端子素子及びこれを用いた液晶表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
友松 英爾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-254374
公開番号（公開出願番号）：特開平8-095505
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 内部応力の少ない硬質炭素膜と該硬質炭素膜を使用した薄膜二端子素子、およびこれら硬質炭素膜と薄膜二端子素子を利用することで高性能、低コスト、高信頼性の液晶表示装置の提供。【構成】 第一導体7と第二導体6の間に絶縁層2を介在してなる薄膜二端子素子において、前記絶縁層2が、応力が500MPa以下であり、かつ炭素と水素を主要構成要素とした非晶質状態、あるいは微結晶を一部含む非晶質状態の硬質炭素膜であることを特徴とする薄膜二端子素子。
請求項（抜粋）：
炭素源ガスと希ガスおよび/または水素ガスの混合ガスより気相合成して製造した硬質炭素膜。
IPC (3件)：
G09F 9/35 303
, G02F 1/136 505
, H01L 49/02
