特許
J-GLOBAL ID：200903045795302181
表面の光学的検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
加藤 紘一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249981
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222013
出願日： 1993年09月09日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 物体表面の多種多様な傷を検出し識別する可視光検査装置を提供する。【構成】 本発明の光学的検査装置は、表面の選択領域の傷を検出する3つの検査チャンネルを有する。第1の光学的検査チャンネル(30)は、第1の光ビームを表面の選択領域に低入射角で入射させて暗視野反射像を形成させ、かききずおよび細かい粒子を検出する。第2の光学的検査チャンネル(80)は拡散した第2の光ビームを選択領域に入射させて明視野反射像を形成させ、しみを検出する。第3の光学的検査チャンネル(120)は第3の光ビームを選択領域に高入射角で入射させて明視野反射像を形成させ、くぼみ及び隆起を検出する。
請求項（抜粋）：
表面の光学的検査装置であって表面の選択領域に低入射角で入射する第1の光ビームを形成しその暗視野反射を調べる第1の光学的検査手段と、選択領域へ入射する第2の拡散光ビームを形成しその明視野反射を調べる第2の光学的検査手段と、選択領域へ高入射角で入射する第3の光ビームを形成しその明視野反射を調べる第3の光学的検査手段とより成ることを特徴とする光学的検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G11B 5/84
, G11B 23/00
