特許

J-GLOBAL ID：200903045820099817

レーザ加工装置

発明者： 加茂 裕康
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-278001
公開番号（公開出願番号）：特開平11-104873
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】【課題】 装置の周辺温度の変動に伴う加工精度の低下を防止することのできるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 本レーザ加工装置は、加工レーザ光源1と、被加工物であるウェハ11を光軸方向(Z方向)及び光軸垂直方向(X、Y方向)に移動させるステージ20、13を備える。加工レーザ光のオートフォーカス機構の制御回路2に、装置周辺の気温変動によるフォーカス位置変動を自動補正するオートフォーカス温度補正部31を設けた。

請求項（抜粋）：

被加工物にレーザ光を照射して加工する装置であって;加工レーザ光のオートフォーカス機構と、装置周辺の気温変動によるフォーカス位置変動を自動補正するオートフォーカス温度補正部と、を具備することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/04 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/08 ,  G02B 7/28

FI (4件)：

B23K 26/04 C ,  B23K 26/00 H ,  B23K 26/08 D ,  G02B 7/11 M