特許
J-GLOBAL ID：200903045820130129
回転情報検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-247587
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194144
出願日： 1993年09月07日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 装置全体の小型化を図りつつ高精度な検出が可能な回転情報検出装置を得ること。【構成】 表面上に回転検出方向に沿って回折格子が配列されているスケールの回転に関する情報を検出する装置で、該スケールの回折格子上の第1点に光束を照射し、第1点より所定次数の2つの回折光を出射させる為の光源部と、前記所定次数の2つの回折光を前記スケールの回折格子上の第1とは異なる第2点上に導く為の複数の光学部分が設けられた前記スケールの表面近傍に並設される為の透明基板と、前記所定次数の2つの回折光を入射された前記第2点より発生する回折光同士の干渉光束を受光する為の光検出器とを有し、該光検出器の受光により前記スケールの該光検出器に対する相対的な回転に関する情報が検出されること。
請求項（抜粋）：
表面上に回転検出方向に沿って回折格子が配列されているスケールの回転に関する情報を検出する装置で、該スケールの回折格子上の第1点に光束を照射し、第1点より所定次数の2つの回折光を出射させる為の光源部と、前記所定次数の2つの回折光を前記スケールの回折格子上の第1とは異なる第2点上に導く為の複数の光学部分が設けられた前記スケールの表面近傍に並設される為の透明基板と、前記所定次数の2つの回折光を入射された前記第2点より発生する回折光同士の干渉光束を受光する為の光検出器とを有し、該光検出器の受光により前記スケールの該光検出器に対する相対的な回転に関する情報が検出されることを特徴とする回転情報検出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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