液晶表示パネル用配向膜の洗浄方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-159701
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003671
出願日： 1992年06月18日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】液晶表示パネルに形成した配向膜を低下させないことを目的とする。【構成】カラーフィルタ側の基板の表面に形成した配向膜や、基板の表面にTFTなどを形成し、その上に形成した配向膜の表面を洗浄するに当たり、洗浄液として純水を用いて洗浄し、その後、スピンドライ方式、エアーナイフ方式など物理的乾燥方法で乾燥することを特徴とする。【効果】配向力が低下せず、従って、幅広く液晶材料が使え、熱処理の程度が軽く済み、熱ダメージによる不良、配向力不足による不良を防ぐことができる。

請求項（抜粋）：

基板に形成した配向膜の表面を洗浄するに当たり、洗浄液として純水を用いて洗浄し、その後、物理的乾燥方法を用いて乾燥させることを特徴とする液晶表示パネル用配向膜の洗浄方法。

IPC (2件)：

G02F 1/1337 , H01L 21/304 351

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-186817
特開平1-291489
特開平3-186817

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