特許

J-GLOBAL ID：200903045844314522

除電機能付きステージ及び被加工体の除電方法及びそれを用いた加工装置とシール剤塗布装置

発明者： 柴 岳人
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-097454
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294472
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 省スペースであって、かつ、被加工体が帯電した電荷を確実に除電する除電方法とその装置。【解決手段】 被加工体1を密着保持するステージ6に空気孔7、8を設け、その空気孔7、8のうち所定個所に孔設されたものには、絶縁材11を介してイオナイザの導体針10を固定する。

請求項（抜粋）：

表面側に被加工体を載置し前記表面側から裏面側に複数個の貫通孔が孔設されている除電機能付きステージにおいて、前記貫通孔のうち所定のものには絶縁材を介してイオナイザの導体針が設けられていることを特徴とする除電機能付きステージ。

IPC (7件)：

H01L 21/02 ,  B05C 9/10 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 ,  H05F 3/04

FI (7件)：

H01L 21/02 Z ,  B05C 9/10 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/00 Z ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 N ,  H05F 3/04 J

Fターム (23件)：

2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  4D075AC04 ,  4D075AC78 ,  4D075AC93 ,  4D075BB49X ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC21 ,  4D075EA35 ,  4D075EB33 ,  4F042AA06 ,  4F042DA00 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA13 ,  5F031JA04 ,  5F031PA21 ,  5G067AA42 ,  5G067DA21 ,  5G067DA22