特許

J-GLOBAL ID：200903045848464260

スパッタ膜、液晶素子及びこれらの製造方法

発明者： 沢村 光治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074792
公開番号（公開出願番号）：特開平10-265952
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】【課題】 カラーフィルタ上に有機樹脂からなる保護膜を設けた液晶素子基板の該保護膜上に、枚葉式スパッタ装置によりITO膜を成膜する際に、異常放電によるターゲットや基板の損傷を防止し、且つ成膜時に上記保護膜から発生するガスによるITOの膜質低下を防止する。【解決手段】 80〜120MHzのVHF高周波電力にDC電力を重畳してターゲットに印加し、スパッタを行なう。

請求項（抜粋）：

少なくとも、一つ以上の基板搬入搬出室、一つ以上のスパッタ室、及び該基板搬入搬出室とスパッタ室との間を連絡する搬送室を備えた枚葉式スパッタ装置を用いたスパッタ膜の製造方法において、上記スパッタ室内のターゲットに、VHF帯の周波数を有するVHF高周波電力を印加してスパッタを行なうことを特徴とするスパッタ膜の製造方法。

IPC (6件)：

C23C 14/44 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285

FI (6件)：

C23C 14/44 ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 S ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S