特許

J-GLOBAL ID：200903045853047111

研磨装置

発明者： 関 田 三 郎
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
代理人 (1件)： 蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-332117
公開番号（公開出願番号）：特開平10-166264
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】 ウエハの研磨を効率良く行い、生産性を高める。【解決手段】 研削後のウエハを吸着して回転する研磨ヘッド302〜305と、各研磨ヘッドを回転可能に支持するインデックステーブル327と、インデックステーブルをウエハ着脱・洗浄位置P4、P5とウエハ研磨位置P6、P7とに位置決めするテーブル駆動部301とを備え、各研磨ヘッドは、ヘッドの回転を独立に制御する研磨ヘッド駆動部307〜310と、ウエハを吸着して下方の定盤400に対する加圧力を独立に制御する吸引・加圧部311〜314を備える。

請求項（抜粋）：

研削後のウエハを吸着して独立に回転する複数の研磨ヘッドと、各研磨ヘッドを回転可能に支持するインデックステーブルと、インデックステーブルをウエハ着脱・洗浄位置とウエハ研磨位置とに位置決めするテーブル駆動部とを備えた研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 321 H ,  H01L 21/68 P