特許
J-GLOBAL ID：200903045866926483
ボンディングツ-ル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-048339
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263478
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】超音波エネルギを効率良く接合界面に伝え、接合部のネック強度を向上させる接合を行なうために好適なボンディングツ-ルを提供することにある。【構成】ボンディングツ-ルの先端の接合界面の長手方向に複数の平坦部を設け、各々の平坦部間に段差を設け、外側平坦部が中央平坦部より短いことを特徴とするボンディングツ-ル。【効果】ツ-ルとワイヤ間での滑りを抑制し、ワイヤ損傷を防止して短時間に高品質、高信頼性の接合部が得られる。
請求項（抜粋）：
ウエッジボンディング法により被接合材と接合材の接合を行うときに使用するボンディングツ-ルにおいて、該ボンディングツ-ル先端の前記接合材との接合界面に複数の平坦部を設け、該平坦部間に段差を設けることを特徴とするボンディングツ-ル。
IPC (3件)：
H01L 21/60 301
, B23K 20/10
, H01L 21/607
